Fa'atekonolosi Fofo mo Faiga Fa'a'aveina Kesi Mamalu Maualuga mo Fa'agasologa Semiconductor

Tekinolosi paipa kasa maualuga-mama o se vaega taua o le faʻaogaina o le kesi mama maualuga, o le tekinolosi autu lea e tuʻuina atu ai le kesi maualuga-mama e manaʻomia i le tulaga o le faʻaogaina ma tausia pea le tulaga agavaa;Tekinolosi paipa kasa maualuga-mama e aofia ai le mamanu sao o le faiga, le filifilia o mea faʻapipiʻi ma mea faʻaoga, fausiaina ma faʻapipiʻi, ma suʻega.I tausaga talu ai nei, o le faʻateleina o manaʻoga faʻapitoa i le mama ma le le mama o mea o kasa maualuga-mama i le gaosiga o oloa microelectronics o loʻo faʻatusalia e le tele o fesoʻotaʻiga tuʻufaʻatasia ua faʻateleina ai le popole ma le faamamafaina o le tekonolosi paipa o kasa mama maualuga.O lo'o i lalo se fa'amatalaga pu'upu'u o paipa kesi maualuga-mama mai meafaitino filifiliaof fausiaina, faapea foi ma le taliaina ma le pulega i aso taitasi.

Ituaiga kasa masani

Fa'avasegaga o kasa masani i totonu o pisinisi fa'aeletonika：

Kasa masani(Kesi tele）: hydrogen (H₂₎, nitrogen (N₂), okesene (O₂), argon (A₂), ma isi.

Kesi fa'apitoao SiH₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCL,CF₄ ,NH_3,POCL_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  BCL_{3 ,}SIF₄ ,CLF₃ ,CO,C₂F_6, N2O,F_2,HF,HBR SF₆…… ma isi.

O ituaiga o kasa fa'apitoa e mafai ona fa'avasegaina o mea e a'afiakesi, oonakesi, mukesi, mukesi, le gaioikesi, ma isi. O kasa semiconductor masani e masani ona fa'avasegaina e pei ona taua i lalo.

(i) A'a/o'onakesi: HCl , BF₃, WF₆, HBr , SiH₂Cl₂, NH₃, PH₃, Cl₂, BCl₃… ma isi.

(ii) Mumukesi: H₂, CH₄, SiH₄, PH₃, AsH3, SiH₂Cl₂, B₂H₆, CH2F_2,CH₃F, CO… ma isi.

(iii) mukesi: O₂, Cl₂, N₂O, NF₃… ma isi.

(iv) Fa'aleaogainakesi: N₂, CF₄, C₂F₆, C₄F_8,SF₆, CO₂, Ne, Kr, He…etc.

Tele kasa semiconductor e afaina i le tino o le tagata.Aemaise lava, o nisi o nei kasa, pei ole SiH₄ fa'alavelave fa'afuase'i, pe a fa'apea o le a fa'afefeteina se liki ma le okesene i le ea ma amata ona mu;ma le ASH₃sili ona oona, soʻo se laʻititi laʻititi e ono mafua ai le lamatiaga o le ola o le tagata, e mafua ona o nei lamatiaga manino, o le mea lea o manaʻoga mo le saogalemu o le mamanu faiga e sili ona maualuga.

Fa'aoga lautele o kasa  

I le avea ai o se mea taua taua o alamanuia faʻaonaponei, o oloa kesi e faʻaaogaina lautele, ma o le tele o kasa masani poʻo kasa faʻapitoa e faʻaaogaina i metallurgy, uʻamea, suauʻu, vailaʻau kemisi, masini, eletise, tioata, ceramics, mea fau fale, faufale. , gaosiga o mea'ai, vaila'au ma vaega fa'afoma'i.O le fa'aogaina o le kesi e iai sona a'afiaga taua i luga o le tekonolosi maualuga o nei fanua fa'apitoa, ma o lona kesi mea mata'utia po'o le kesi gaioiga.E na'o le mana'oga ma le fa'alauiloaina o vaega fou o alamanuia ma fa'aonaponei fa'asaienisi ma tekonolosi, e mafai ona atia'e oloa gaosi kesi e ala i le osooso i tulaga eseese, lelei ma le tele.

Fa'aaogāga kesi ile microelectronics ma semiconductor alamanuia

O le faʻaaogaina o le kesi o loʻo i ai pea se sao taua i le faʻagasologa o le semiconductor, aemaise lava le faʻaogaina o le semiconductor process i pisinisi eseese, mai le ULSI masani, TFT-LCD i le micro-electro-mechanical (MEMS) alamanuia o loʻo iai nei, uma o lea e fa'aogaina ai le faiga e ta'ua o le semiconductor e pei o le gaosiga o oloa.O le mama o le kesi o loʻo i ai se aafiaga taua i le faʻatinoina o vaega ma mea e maua mai ai oloa, ma o le saogalemu o le kesi sapalai e fesoʻotaʻi ma le soifua maloloina o tagata faigaluega ma le saogalemu o faʻagaioiga.

Le taua ole paipa maualuga mama ile felauaiga kesi maualuga mama

I le faʻagasologa o le faʻafefeteina o le sila ma le faia o mea, e tusa ma le 200g o le kesi e mafai ona faʻafefe i le tone.Ina ua uma le faagasologa o le uamea stainless, e le gata o lona pito pipii ma contaminants eseese, ae faapea foi i lona lattice uʻamea foi mitiia se aofaiga patino o le kesi.A iai le ea i totonu o le paipa, o le uamea e mitiia le vaega lea o le kesi o le a toe ulufale i totonu o le ea, faʻaleagaina ai le kesi mama.A oʻo ina tafe le ea i totonu o le paipa, e faʻafefeteina e le paipa le kesi i lalo o le mamafa, ma pe a taofi le tafe o le ea, o le kesi faʻapipiʻiina e le paipa e fausia ai se pa'ū mamafa e foia, ma o le kesi foia e ulufale atu foi i le kesi mama i totonu o le paipa. pei o mea leaga.I le taimi lava e tasi, o le adsorption ma le fofo e toe faia, ina ia mafai ai e le uamea i luga o le pito i totonu o le paipa ona maua ai foi se aofaiga o le paʻu, ma o nei mea efuefu uʻamea e faʻaleagaina ai le kesi mama i totonu o le paipa.O lenei uiga o le paipa e taua tele e faʻamautinoa ai le mama o le kesi feaveaʻi, lea e manaʻomia ai e le gata o se lamolemole maualuga tele o le pito i totonu o le paipa, ae faʻapea foʻi ma le maualuga o le ofuina.

A fa'aogaina le kesi e malosi le fa'aogaina, e tatau ona fa'aogaina paipa u'amea fa'a'ala'au mo paipa.A leai, o le paipa o le a maua ai le pala i luga o le pito i totonu ona o le pala, ma i tulaga ogaoga, o le ai ai se vaega tele o le uʻamea poʻo le perforation, lea o le a faʻaleagaina ai le kesi mama e tufatufa atu.

Le fesoʻotaʻiga o le faʻaogaina o le kesi maualuga-mama ma maualuga-mama ma faʻasalalau paipa o le tele o tafega.

I le faʻavae, o latou uma e faʻapipiʻiina, ma o paipa e faʻaaogaina e manaʻomia e leai se suiga i le faʻalapotopotoga pe a faʻaaogaina le uelo.O meafaitino e maualuga tele le carbon content e mafai ona faʻaogaina i le ea o vaega uelo pe a faʻapipiʻiina, lea e faʻaogaina ai le kasa i totonu ma fafo atu o le paipa ma faʻaumatia ai le mama, mago ma le mama o le kesi feaveaʻi, e mafua ai le leiloa o le. a tatou taumafaiga uma.

I se aotelega, mo le maualuga-mama kasa ma kasa faʻapitoa tuʻuina atu paipa, e manaʻomia le faʻaaogaina o se togafitiga faʻapitoa o paipa uʻamea uʻamea maualuga, e fai ai le faʻaogaina o le paipa (e aofia ai paipa, mea faʻapipiʻi, valve, VMB, VMP) i totonu. maualuga-mama le tufatufaina kesi nofoia se misiona taua.

Manatu lautele o tekinolosi mama mo le fa'asalalauina ma le tufatufaina o paipa

E maualuga le mama ma mama le fa'aogaina o le kesi ma paipa o lona uiga o lo'o i ai ni mana'oga po'o ni fa'atonuga mo vaega e tolu o le kesi e felauai.

Gas mama: O le anotusi o le siosiomaga le mama i le gGas mama: O mea o loʻo i totonu o le atemosifia le mama i totonu o le kesi, e masani ona faʻaalia o se pasene o le mama mama, e pei o le 99.9999%, faʻaalia foi o le fua faatatau o le maualuga o le siosiomaga eleelea ppm, ppb, ppt.

Mago: o le aofaʻi o susū susū i totonu o le kesi, poʻo le aofaʻi e taʻua o le susu, e masani ona faʻaalia i tulaga o le sau, e pei o le sau o le ea -70.C.

Mama: le numera o mea faʻaleagaina o loʻo i totonu o le kesi, lapopoa o le µm, pe fia vaega / M3 e faʻaalia, mo le ea faʻapipiʻi, e masani ona faʻaalia i le aofaʻi o mg / m3 o mea e le mafai ona alofia, e aofia ai le suauʻu. .

Fa'avasegaina tele o mea filogia: vaega filogia, e masani lava ona faasino i le sasaina o paipa, ofuina, pala e gaosia e vaega u'amea, vaega sot ea, fa'apea fo'i ma microorganisms, phages ma kasa condensation droplets o lo'o i ai le susu, ma isi, e tusa ai ma le tele o lona lapopoa. ua vaevaeina i

a) Lapopo'a vaega - lapopo'a vaega i luga a'e o le 5μm

b) Masini - mea lautele i le va 0.1μm-5μm

c) Ultra-micro particles - lapopo'a lapopo'a itiiti ifo i le 0.1μm.

Ina ia faʻaleleia le faʻaogaina o lenei tekinolosi, ina ia mafai ona malamalama i le tele o vaega laiti ma iunite μm, o loʻo tuʻuina atu se seti o tulaga faʻapitoa mo faʻamatalaga.

O lo'o mulimuli mai se fa'atusatusaga o vaega fa'apitoa